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薄膜型變壓器
作者:好聯(lián)網(wǎng)絡(luò)王 發(fā)布于:2013-7-25 9:31:10 點(diǎn)擊量:本文標(biāo)簽:保定天威變壓器

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薄膜型變壓器是一種用磁性薄膜研制的疊層微型變壓器,采用薄膜后高度低于 1mm,工作頻率超過 1MHz,其體積小,易于集成,但只適用于小功率情況。
它們絕大多數(shù)采用金屬磁性材料,如坡莫合金、鐵硅鋁和非晶合金。主要是因?yàn)樗鼈冇懈?BS 和高磁導(dǎo)率。Tsuijimotl 等人用帶式(銅厚 35μm,長(zhǎng) 34mm,寬 3mm)加以絕緣膜(厚 100μm),非晶 CoNbZr 膜(1.8μm)構(gòu)成一種能在高頻下輸出電壓可控的薄膜變壓器——針孔型變壓器,還制成了厚度為 210μm的片式變壓器。
它是采用兩層 10μm 厚的 CoZr 非晶薄膜做成的,用于 5V、0.3A、1MHz 的開關(guān)電源,77.5% 鐵氧體材料(以 MnZn系為主)也可以制成薄膜型變壓器,但用常規(guī)的方法很難制出合適的微型磁膜,故需開發(fā)新的成膜技術(shù)。
目前國(guó)外主要采用 PVD、CVD 等沉積技術(shù)配合化學(xué)蝕刻,激光燒蝕法、光照射低溫鍍膜法等成膜技術(shù)。Yamaguchi K 等設(shè)計(jì)制作的微型變壓器,其面積只有2.4mm×3.1mm,在 10MHz 時(shí)效率可達(dá) 67%。
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